01
哪些子系统和零部件适合建设？
真空、阀门、流量控制、RF、电源、运动控制、机器人、温控、密封、石英、陶瓷和传感器都可按主设备关系建设。
- Vacuum pumps / valves / gas delivery / MFC
- RF generators / matching / power supplies
- Motion control / robotics / wafer handling
- Thermal management / heaters / chillers
- Seals / quartz / ceramics / precision parts
- Sensors / monitoring / controls
02
子系统页面的核心决策维度是什么？
页面要说明主设备兼容性、工艺环境、失效模式、寿命、稳定性、污染、接口、维护与供应连续性。
技术适配
- Host equipment compatibility
- Process environment / gas compatibility
- Precision / stability / lifetime
- Contamination / failure modes
运营适配
- Communication / integration
- Maintenance / replacement / retrofit
- Spare parts and service boundary
- Supply continuity / change control
03
如何避免“参数页”与采购问题脱节？
每个关键参数都应解释它影响哪个主设备结果、在什么条件下成立、如何验证以及发生偏差时有什么风险。
例如 MTBF 只有在样本、运行条件和统计口径明确时才有比较价值；气体兼容性也需要结合浓度、温度、材料和处理系统说明。没有证据时应把内容写成评估方法，而不是性能承诺。
04
最有商业价值的页面类型有哪些？
优先建设兼容性、选型、故障模式、维护、替换/改造与 CoO 内容，因为这些问题更接近 shortlist 与工程验证。